|
Λεπτομέρειες:
|
| Πλήρης - κλίμακα: | 100 SCCM | Τροφοδοτικό: | +15 έως +28 VDC (ενιαία παροχή) |
|---|---|---|---|
| Σύνθημα: | 0–5V αναλογικό; υποστηρίζει ψηφιακή επικοινωνία RS485 | Ακρίβεια: | ±1% FS; Επαναληψιμότητα: ±0,2% FS |
| Επισημαίνω: | Ελεγκτής ροής μάζας αερίου για την κατασκευή ημιαγωγών,ιατρικός αισθητήρας ροής αέρα με εγγύηση,AS200A008C100CJCC Ελεγκτής ροής |
||
AS200A008C100CJCC Ελεγκτής Μαζικής Ροής Αερίου Χρήση για Διαδικασία Κατασκευής Ημιαγωγών
Τυπικές Εφαρμογές
Επεξεργασία ημιαγωγών, CVD, συστήματα διανομής αερίου, έλεγχος αερίου εργαστηρίου, αναλυτικά όργανα, κ.λπ.
Προδιαγραφή:
| Ρυθμός διαρροής | 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (He) |
| Αντοχή σε πίεση | 3 MPa |
| Σειρά Προϊόντων AS200 | Ελεγκτής Μαζικής Ροής Αερίου MEMS |
| A (Τύπος Σφράγισης) | A = Λαστιχένια σφράγιση; Σήμα: αναλογική είσοδος/έξοδος 0–5V |
| 008 (Κωδικός Αερίου) | 008 αντιστοιχεί στο καθορισμένο αέριο |
| C (Μονάδα Εύρους) | C = SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute) |
| 100 (Πλήρης Κλίμακα) | 100 SCCM |
| CJCC | Επίθημα για συνδυασμό διεπαφής, τύπου βαλβίδας, ηλεκτρικών και εξαρτημάτων |
![]()
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Xu
Τηλ.:: 86+13352990255