Δοκιμαστικό μετρητή ροής θερμικών αερίων 0,5-50 SLPM

Περιγραφή προϊόντος:

YJJ MF5006-N2M-E-0,5-50-15-AB-DA MEMS Μετρητής ροής μάζας θερμικού αερίου 0,5 - 50 SLPM 1,5 MPa

Χαρακτηριστικά:

I. Αποσυναρμολόγηση μοντέλου (Αναλυτικές έννοιες κάθε θέσης)

MF5006-N2M-E-0,5-50-15-AB-DA

MF5006: Σειρά, DN6 (Εσωτερική διάμετρος 6mm, 1/4" Διασύνδεση)

N2: Τυπικό αέριο = άζωτο (N2)

M: Αρχή ροής θερμικής μάζας MEMS

Ε: Κέλυφος από κράμα αλουμινίου

0,5: Ελάχιστο εύρος 0,5 SLPM (Τυπικό λίτρα ανά λεπτό στους 20°C / 1 atm)

50: Μέγιστο εύρος 50 SLPM

15: Μέγιστη πίεση εργασίας 1,5 MPa

AB: Έξοδος = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: Με οθόνη LCD (Στιγμιαία + Αθροιστική ροή)

Α: Τυπική διαμόρφωση (Χωρίς ειδική προσαρμογή)

II. Βασικές παράμετροι (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA)

1. Απόδοση μέτρησης

Μετρημένο μέσο: N2, Αέρας, O2, Ar, CO2, κ.λπ. Ξηρό, Καθαρό, Χωρίς λάδια, Χωρίς Αέριο Συμπύκνωσης

Οπή / Διεπαφή: DN6, Εσωτερικό νήμα 1/4" (G1/4 ή NPT1/4)

Εύρος (N₂, 20°C / 1 atm): 0,5–50 SLPM (Τυπική λίτρα / λεπτό)

Ακρίβεια: ±(1,5% Ανάγνωση + 0,2% FS)

Επαναληψιμότητα: ≤±0,5%FS

Αναλογία εύρους: 100:1 (Ευρύ εύρος, χαμηλή ευαισθησία ροής)

Χρόνος απόκρισης: ≤100ms (Αλλαγές ροής γρήγορης παρακολούθησης)

Ροή εκκίνησης: Χαμηλή έως 8 mm/s (Εξαιρετικά μικρή μετρήσιμη ροή)

2. Ηλεκτρικά και Έξοδος

Τροφοδοτικό: 12–24 VDC ±10%, Κατανάλωση ρεύματος < 2W

Αναλογική Έξοδος: 4–20 mA (αντιστοιχεί σε 0–50 SLPM)

Επικοινωνία: RS485 (Modbus-RTU), δικτυακή απομακρυσμένη παρακολούθηση

Οθόνη: Οθόνη LCD, Εμφανίζει Στιγμιαία ροή (SLPM) + Αθροιστική ροή

3. Μηχανολογικά και Περιβαλλοντικά

Υλικό κελύφους: Κράμα αλουμινίου (E-Type), Ελαφρύ, Ανθεκτικό στη Διάβρωση

Υλικό επαφής: Ανοξείδωτο ατσάλι 316L

Πίεση λειτουργίας: ≤1,5 ​​MPa (15 bar)

Θερμοκρασία λειτουργίας: -20°C έως +60°C

Υγρασία: 0–95% RH (Χωρίς συμπύκνωση)

Βαθμός προστασίας: IP40 (αδιάβροχο, Εσωτερικό / Γενικό Βιομηχανικό Περιβάλλον)

Εγκατάσταση: Οριζόντια / Κάθετη εγκατάσταση κατά βούληση, δεν απαιτείται ευθύ τμήμα σωλήνα (Πλεονέκτημα του θερμικού MEMS)

4. Αρχικά Χαρακτηριστικά

Θερμικό MEMS: Άμεση μέτρηση ροής μάζας, καμία θερμοκρασία / αντιστάθμιση πίεσης, ακρίβεια Θερμοκρασία / διακυμάνσεις πίεσης

Εξαιρετικά χαμηλή διαφορική πίεση: Ελάχιστη απώλεια πίεσης, κατάλληλο για συστήματα χαμηλής πίεσης / μικρής ροής

Υψηλή σταθερότητα: Μικρή μετατόπιση μηδενικού σημείου, μακροπρόθεσμη χωρίς συντήρηση

III. Βασικές Εφαρμογές (Ακριβής Μέτρηση Μικρής Διάτρησης, Αερίων Χαμηλής Ροής)

1. Ημιαγωγός / Ηλεκτρονικά (Βασικό Σενάριο)

Άζωτο υψηλής καθαρότητας (N2), οξυγόνο (O2), αργό (Ar), αναλογία αερίων διεργασίας και παρακολούθηση ροής

Ακριβής έλεγχος αερίου μικρής ροής σε εξοπλισμό επεξεργασίας πλακιδίων, διάχυσης, χάραξης, εναπόθεσης

2. Ιατρικά / Φαρμακευτικά

Παρακολούθηση ροής παροχής οξυγόνου/αζώτου σε νοσοκομείο (αναπνευστήρες, μηχανήματα αναισθησίας)

Φαρμακευτικό στείρο αέριο, Ακριβής μέτρηση προστατευτικού αερίου (N2/Ar)

3. Εργαστήριο / Έρευνα

Μικρή αναλογία ροής, ανάμιξη, παρακολούθηση αερίων αντίδρασης πειραματικών αερίων (N2/O2/Ar/CO2)

Μέτρηση αερίου χαμηλής ροής για κατάλυση, καύση, περιβαλλοντική δειγματοληψία κ.λπ.

4. Βιομηχανικός Αυτοματισμός

Έλεγχος σταθερού μικρού ροής προστατευτικού αερίου συγκόλλησης (Ar/CO₂)

Παρακολούθηση ροής Ακριβούς Επεξεργασίας, Έκρηξη Εξοπλισμού Επιθεώρησης / Αέριο Προστασίας

Μικρός Κλάδος Πεπιεσμένου Αέρα / Μέτρηση Τελικής Κατανάλωσης Ενέργειας Εξοπλισμού

5. Περιβαλλοντική / Νέα Ενέργεια

Παρακολούθηση δειγματοληψίας μικρής ροής καυσαερίων χαμηλής συγκέντρωσης καυσαερίων

Μέτρηση αερίου υδρογόνου χαμηλής συγκέντρωσης για κυψέλες καυσίμου υδρογόνου

Προδιαγραφές: