YJJ AS200 Ελεγκτής Μάζας Ροής Αερίου MFC από ανοξείδωτο χάλυβα Υψηλής Ακρίβειας, Μικρο-Μετρητής Ροής Αερίου

Περιγραφή του προϊόντος:

YJJ AS200 MFC από ανοξείδωτο χάλυβα, υψηλής ακρίβειας ελεγκτής ροής μάζας αερίου, μικρομετρητής ροής αερίου

Χαρακτηριστικά:

Ελεγκτής ροής μάζας αερίου σειράς AS200

Παρέχει ισχυρό δωρεάν λογισμικό υπολογιστών με βάση τον πελάτη

Ο ελεγκτής ροής μάζας αερίου σειράς AS200 είναι κατάλληλος για διάφορα συμβατικά αέρια, βελτιώνοντας την ακρίβεια και την αξιοπιστία των αποτελεσμάτων μετρήσεων ελέγχου ροής μάζας αερίου.Η ακρίβεια επαναληψιμότητας είναι έως και 00,2% F.S.

Το χαμηλό ρυθμό διαρροής 1x10-0 Pa·m3/sec He, καλή ατμοστεχάνεια, διασφαλίζοντας την ασφάλεια της παραγωγής. Μπορεί να υποστηρίξει πολλαπλές εξόδους σήματος, συμπεριλαμβανομένων ψηφιακών σημάτων, αναλογικών σημάτων 1-5V,και αναλογικά σήματα 4-20mA, η οποία μπορεί να χρησιμοποιεί μία και μοναδική παροχή ενέργειας (+15~+28VDC), κατάλληλη για διαφορετικά σενάρια εργασίας·Το πρότυπο ανοικτού πρωτοκόλλου επικοινωνίας παρέχει ευκολία στους πελάτες να αναπτύσσουν ανεξάρτητα λογισμικό ελέγχου και απόκτησηςΤαυτόχρονα, το προϊόν παρέχει επίσης ισχυρό δωρεάν λογισμικό υπολογιστών με βάση τον πελάτη, διευκολύνοντας την αποδιορθώση και λειτουργία του χρήστη.

Τα προϊόντα της σειράς AS200 αναπτύσσονται από την Aosong Electronics χρησιμοποιώντας προηγμένη τεχνολογία MEMS.Οι βασικές τεχνολογίες έχουν υιοθετηθεί για να εξασφαλιστεί η υψηλή απόδοσηΕίναι ένα μέσο υψηλής ποιότητας με καλή σταθερότητα, υψηλή ακρίβεια, χαμηλό ποσοστό διαρροής και αντοχή σε υψηλή πίεση.

Ο ελεγκτής ροής μάζας αερίου σειράς AS200 (MFC) χρησιμοποιείται κυρίως για ακριβή έλεγχο και μέτρηση της ροής μάζας αερίου.Το AS200 διαδραματίζει σημαντικό ρόλο στην έρευνα και την παραγωγή σε διάφορους τομείς, όπως η τεχνολογία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ημιαγωγώνΤα τυπικά σενάρια εφαρμογής του περιλαμβάνουν: εξοπλισμό επεξεργασίας ολοκληρωμένων κυκλωμάτων,όπως η επιταξία, διάχυση, ελίτση πλάσματος, σπυττρίρισμα, εμφύτευση ιόντων και διάφοροι εξοπλισμοί CVD· άλλοι βιομηχανικοί εξοπλισμοί, όπως τήξη οπτικών ινών, συσκευές μικροαντίδρασης,συστήματα μείγματος αερίου και διανομής αερίου, συσκευές δειγματοληψίας αερίων, όργανα τριχοειδούς μέτρησης, χρωματογράφους αερίων και άλλα αναλυτικά όργανα.

Ελεγκτής ροής μάζας αερίου

Ηλεκτρική τροφοδοσία: 15 - 24V DC (μονοπόλος)

Πεδίο μέτρησης: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0.03 - 3, 0.05 - 5, 0.1 - 10, 0.2 - 20,

0.3 - 30, 0,5 - 50 SLM/min

Ακριβότητα επαναληψιμότητας: ±0,2% πλήρους κλίμακας

Χρόνος απόκρισης: 1 δευτερόλεπτο

Περιβάλλον λειτουργίας: 5 - 45°C

Μέγεθος: 112,8 * 38 * 115 mm

Προδιαγραφές: