Πεδίο ροής (πλήρης κλίμακα):±200 SCCM
Τροποποίηση:30 mV @ 100 μscm
Μηδενική μετατόπιση τάσης, τυπικά +25° έως 25°C, +25° έως 85°C:±0,20 mV
Τύπος:Διαφορικό
Πεδίο πίεσης:± 5 mbar ± 500 Pa ± 2.0 inH2O
Αέριο βαθμολόγησης:Αέρας
Τύπος:μαζική ροή
Πεδίο ροής:±200 SCCM
Η τάση διέγερσης3:8.0 Vdc min./10 Vdc ±0.01 Vdc typ./15 Vdc max.
Πεδίο ροής (πλήρης κλίμακα) 1:0 SLPM έως 6 SLPM
Αέριο βαθμολόγησης:Αζώτο
Συνιστώμενη τάση διέγερσης:100,000 ± 0,010 Vdc
Πεδίο ροής (πλήρης κλίμακα) 1:+1000 SCCM
Αέριο βαθμολόγησης:Αζώτο
Συνιστώμενη τάση διέγερσης:100,000 ± 0,010 Vdc
Πεδίο ροής (πλήρης κλίμακα) 1:± 1000 SCCM
Συνιστώμενη τάση διέγερσης:10 ± 0,01 Vdc
Ηλεκτρική παροχή: ελάχιστη μέγιστη:8.0 Vdc 15.0 Vdc
Πεδίο ροής (πλήρης κλίμακα) 1:±30 SCCM
Συνιστώμενη τάση διέγερσης:10 ± 0,01 Vdc
Κατανάλωση ενέργειας:30 mW τυπικά.
Πεδίο ροής (πλήρης κλίμακα):0-10 SLPM
Επιπλέον - αέριο βαθμονόμησης:ΒΑ-Αργκόν (Ar) ΒC-Διοξείδιο του άνθρακα (CO2) VN-Αζώτο (N2)
Συνιστάται η παροχή ενέργειας:10.0±0.01
Συνιστώμενη διέγερση:10 ± 0,01 Vdc
Κατανάλωση ενέργειας:50 MW
Μηδενική τάση:10,00 ± 0,10 Vdc
Σειρά:Σειρά FS4308
Ακριβότητα:± (1,5+0,15FS) %
Θερμοκρασία εργασίας:60 ℃
Καλός βαθμός:+ 1,5 + 0,2 (FS) %
Επαναληψιμότητα:0.75
Μηδενική παράκαμψη παραγωγής:Πάνω ή κάτω από 30 mV
Διάμετρος σωλήνα:3 χιλιοστά
Τύπος:Μετρητής ροής
Υλικό:PVC