YJJ AGP4000H00 MEMS Ψηφιακός σύνθετος μετρητής κενού υψηλής ακρίβειας ψυχρής καθόδου Μετρητής κενού Pirani

Περιγραφή προϊόντος:

YJJ AGP4000H00 MEMS Ψηφιακός σύνθετος μετρητής κενού υψηλής ακρίβειας ψυχρής καθόδου Μετρητής κενού Pirani

Χαρακτηριστικά:

I. Εισαγωγή Προϊόντος

Μοντέλο: AGP4000H00, σύνθετος μετρητής κενού πλήρους εύρους, ενσωματωμένος μετρητής θερμικής αγωγιμότητας Pirani (μέτρηση ατμοσφαιρικού έως μεσαίου κενού) + Μετρητής ιονισμού ψυχρής καθόδου (μέτρηση υψηλού κενού)

Αυτόματη εναλλαγή διπλής λειτουργίας, δεν χρειάζεται σύζευξη με δύο ανεξάρτητους μετρητές κενού. Ενσωματωμένος αισθητήρας μέτρησης κενού από ανοξείδωτο χάλυβα, εξοπλισμένος με τοπική έγχρωμη οθόνη TFT. Υποστηρίζει επίσης σύνδεση αναλογικού/ψηφιακού σήματος με PLC, οθόνη αφής, κεντρικό υπολογιστή βιομηχανικού ελέγχου.

Διακριτικό χαρακτηριστικό: Η οθόνη αφής Prophiles AGP4000 είναι παρόμοια με αυτό το μοντέλο μετρητή κενού, αλλά είναι ένα εντελώς διαφορετικό προϊόν. Η αγορά και η σύνδεση του υλικού δεν πρέπει να συγχέονται.

II. Βασικές Παράμετροι Απόδοσης

1. Εύρος μέτρησης κενού (Σύνθετο διπλό μετρητή)

Συνολικό εύρος μέτρησης: 5×10-6 Pa ～ 1×105 Pa (που εκτείνεται σε 6 τάξεις μεγέθους, καλύπτει την ανώμαλη άντληση, το μεσαίο κενό και το υψηλό κενό σε όλη τη διαδικασία)

Εύρος εργασίας Pirani: 1×105 Pa ～ 10 Pa (πάντα ενεργό καθ' όλη τη διάρκεια της διαδικασίας, παρακολούθηση από το ατμοσφαιρικό έως το μεσαίο κενό)

Όριο αυτόματης εκκίνησης κρύας καθόδου: <10 Pa, ξεκινά αυτόματα τη μέτρηση ιονισμού για υψηλό κενό κάτω από αυτό το επίπεδο κενού, δεν χρειάζεται χειροκίνητη εναλλαγή

Μονάδες μέτρησης: Pa / mbar / Torr, τρεις μονάδες μπορούν να αλλάξουν ταυτόχρονα, με κινεζικές και αγγλικές διεπαφές

2. Ακρίβεια και σταθερότητα

Σφάλμα επαναληψιμότητας: ≤±5% ανάγνωση

Ακρίβεια μέτρησης: ±30% ανάγνωση πλήρους κλίμακας

Ταχύτητα απόκρισης: Απόκριση σε επίπεδο χιλιοστού του δευτερολέπτου Pirani. Ταχεία και σταθερή εκκίνηση ψυχρής καθόδου σε υψηλή τάση

Χαρακτηριστικά κατά της ρύπανσης: Η κρύα κάθοδος δεν έχει θερμαινόμενο νήμα βολφραμίου, δεν θα καεί από ατμούς λαδιού ή σκόνη επικάλυψης, έχει πολύ μεγαλύτερη διάρκεια ζωής από το μετρητή ιονισμού θερμικής καθόδου

3. Προδιαγραφές παροχής ηλεκτρικού ρεύματος

Τάση τροφοδοσίας: DC 15 ~ 30 V DC μεγάλου εύρους

Συνολική κατανάλωση ενέργειας: ≤6W

Ενσωματωμένη διεπαφή επικοινωνίας / τροφοδοτικού: Ενσωματωμένο τροφοδοτικό RJ45 + RS485

Ψηφιακή επικοινωνία: Modbus RTU, ρυθμιζόμενος ρυθμός baud 4800/9600/19200/115200, υποστηρίζει δικτύωση πολλών συσκευών (διεύθυνση 1~255)

Αναλογική έξοδος: Έξοδος λογαριθμικής τάσης 0~10V, μπορεί να συνδεθεί απευθείας με συσκευές εγγραφής, αναλογικές μονάδες PLC

Ποσότητα μεταγωγής: 2 προγραμματιζόμενα ρελέ συναγερμού, μπορούν να ρυθμίσουν υψηλό/χαμηλό κατώφλι κενού για να συνδέσουν αντλίες, βαλβίδες και φώτα συναγερμού

4. Μηχανολογικά, Περιβαλλοντικά, Υλικά

Φλάντζα κενού: Τυπική φλάντζα γρήγορης αποδέσμευσης KF25, εξαιρετική αεροστεγανότητα, υποστηρίζει οποιαδήποτε γωνιακή εγκατάσταση

Υλικό επαφής κοιλότητας: ανοξείδωτο ατσάλι 304/316 ηλεκτρογυαλισμένο, κατάλληλο για συστήματα κενού χωρίς λάδι, ήπια λίπανση με λάδια συστήματα κενού

Εύρος θερμοκρασίας λειτουργίας: 5℃-55℃

Εύρος θερμοκρασίας αποθήκευσης: -20℃-70℃

Προστασία: Μεταλλική σφράγιση ολόκληρου του μηχανήματος, ανιχνευτής ανθεκτικός στη σκόνη και την ήπια ρύπανση από λάδια

Οθόνη: Έγχρωμη οθόνη Micro TFT, ένδειξη τιμής κενού σε πραγματικό χρόνο, εσωτερική θερμοκρασία, κατάσταση επικοινωνίας, προειδοποιητικές λυχνίες διπλού χρώματος για υψηλή/χαμηλή υποπίεση

III. Αρχή Εργασίας

Pirani Gauge (αρχή θερμικής αγωγιμότητας)

Εσωτερικό καλώδιο αντίστασης θέρμανσης MEMS, τα μόρια αερίου απορροφούν θερμότητα, όσο υψηλότερη είναι η πίεση, τόσο ταχύτερη είναι η διάχυση της θερμότητας, τόσο χαμηλότερη είναι η θερμοκρασία αντίστασης. το κύκλωμα συλλέγει αλλαγές αντίστασης και μετατρέπει την ατμοσφαιρική σε επίπεδο κενού 10Pa, δουλεύοντας συνεχώς σε όλη τη διαδικασία.

Μετρητής ιονισμού ψυχρής καθόδου (εκκένωση πανοραμικής λήψης)

Όταν το κενό είναι κάτω από 10Pa, φορτώνει αυτόματα υψηλή τάση, ο ιονισμός αερίου δημιουργεί ρεύμα ιόντων. Όσο υψηλότερο είναι το κενό, τόσο μικρότερο είναι το ρεύμα ιόντων, μετρώντας έτσι το υψηλό εύρος κενού 10Pa~10-6Pa.

Το ενσωματωμένο MCU καθορίζει αυτόματα το εύρος πίεσης, αλλάζει απρόσκοπτα μεταξύ δύο τρόπων μέτρησης, εξάγει την τιμή κενού ομοιόμορφα, δεν χρειάζεται εξοπλισμός υποστήριξης για την εκτέλεση λογικής εναλλαγής εύρους.

IV. Βασικά πλεονεκτήματα

Το μονό μετρητή καλύπτει ολόκληρη την περιοχή κενού, αντικαθιστώντας την παραδοσιακή λύση διπλού ανιχνευτή "Pirani Gauge + Ionization Gauge", μειώνοντας το κόστος του εξοπλισμού και τον χώρο εγκατάστασης. Κρύα κάθοδος χωρίς νήμα, δεν φοβάται την ατμοσφαιρική πρόσκρουση ή τη ρύπανση της επικάλυψης, απαιτεί λίγη συντήρηση, κατάλληλη για συνεχή 24ωρη βιομηχανική παραγωγή.

Έρχεται με τοπική έγχρωμη οθόνη, που επιτρέπει την επιτόπια ανάγνωση των τιμών υποπίεσης χωρίς επάνω υπολογιστή, καθιστώντας εύκολη την αποσφαλμάτωση και τη συντήρηση.

Διαθέτει επίσης αναλογικές διπλές εξόδους 0-10V + Modbus ψηφιακές, συμβατές με οθόνες αφής Proflex, διάφορα PLC και συστήματα απόκτησης βιομηχανικού ελέγχου.

Ευρεία τάση DC15~30V, συμβατό με ντουλάπια εξοπλισμού για παροχή ρεύματος DC, ισχυρή συμβατότητα σε βιομηχανικές εγκαταστάσεις.

Η καθολική στάνταρ φλάντζα KF25, μπορεί να ταιριάζει άμεσα με μοριακές αντλίες, μηχανικές αντλίες και τυπικούς αγωγούς θαλάμων κενού.

VII. Κύρια σενάρια εφαρμογής

1. Ημιαγωγός, εξοπλισμός επίστρωσης κενού (εφαρμογή πυρήνα)

Ψεκασμός με μαγνήτρο, μηχανές εξάτμισης, οπτική επίστρωση, εξοπλισμός αγώγιμου φιλμ ITO

Συσκευασία γκοφρέτας, καθαρισμός πλάσματος, εξοπλισμός χάραξης, παρακολούθηση ολόκληρης της διαδικασίας χονδροειδούς άντλησης → καμπύλη διεργασίας υψηλού κενού

Ανίχνευση διαρροής κοιλότητας κενού, σε συνδυασμό με εξοπλισμό ανίχνευσης διαρροής ηλίου για τον προσδιορισμό του σημείου διαρροής

2. Ερευνητικός εργαστηριακός εξοπλισμός

Κυψελοειδή αναερόβια επωαστήρια, ερμάρια ξήρανσης κενού, κλίβανοι πυροσυσσωμάτωσης με θερμή πίεση

Θάλαμοι προσομοίωσης κλίματος, πάγκοι δοκιμής αεροστεγανότητας, εξοπλισμός δοκιμής γήρανσης υλικού υπό κενό

Ερευνήστε πειραματικούς θαλάμους υψηλού κενού, παρακολούθηση κενού πηγής ιόντων

3. Μπαταρία λιθίου, νέος εξοπλισμός παραγωγής ενέργειας

Ψήσιμο κενού μπαταρίας λιθίου, θάλαμος κενού έγχυσης, σταθμός ανίχνευσης διαρροής στεγανότητας κυψέλης

Σύστημα εξάτμισης για αφρό ηλεκτρολυτών, εξοπλισμός επίστρωσης ηλεκτροδίων κενού

4. Αεροδιαστημική, βιομηχανία δοκιμών ακριβείας

Θάλαμοι δοκιμής κενού υψηλής και χαμηλής θερμοκρασίας εξαρτημάτων αεροδιαστημικής, εξοπλισμός προσομοίωσης διαστημικού περιβάλλοντος διαστημικού σκάφους

Όργανα ακριβείας, αισθητήρες σταθμοί βαθμονόμησης κενού

5. Ιατρικός υποστηρικτικός εξοπλισμός κενού

Ιατρικοί θάλαμοι αρνητικής πίεσης, αποστειρωμένος εξοπλισμός αποστείρωσης υπό κενό, μηχανές λυοφιλοποίησης βιολογικών δειγμάτων

Συνοδευτικά αναπνευστικά μηχανήματα, έλεγχος σύνδεσης πίεσης κενού (μπορεί να συνδυαστεί με σύνδεση αισθητήρα ExplorIR-M-5 CO₂)

6. Γενικός βιομηχανικός αυτοματισμός κενού

Εξοπλισμός προσρόφησης αρνητικής πίεσης κενού, μηχανές συσκευασίας κενού, έλεγχος σύνδεσης ομάδας αντλιών κενού, αυτόματη εκκίνηση-παύση υπερ-όριου κενού, μηχανικές αντλίες, μοριακές αντλίες, βαλβίδες απομόνωσης.

VI. Υποστηρικτικές λύσεις διεπαφής (συμβατές με τα υπάρχοντα υλικά σας)

Επάνω οθόνη: AGP4000 Proflex οθόνη αφής, ανάγνωση τιμών κενού μέσω του Modbus RJ45, εκτέλεση καμπύλης, συναγερμού και αυτόματης λογικής διαδικασίας.

Σύνδεση αερίου: σε συνδυασμό με τον αισθητήρα ExplorIR-M-5 CO₂, τον αισθητήρα οσμής ZP152, πραγματοποιεί ολοκληρωμένη παρακολούθηση του κενού στο θάλαμο + συγκέντρωση αερίου.

Πλήρες ιατρικό μηχάνημα: σε συνδυασμό με ξενιστή παρακολούθησης ανιχνευτή οξυγόνου αίματος DS100A, που χρησιμοποιείται για ενσωματωμένο εξοπλισμό ιατρικού κενού + σημάτων ζωής.

Προδιαγραφές: