AGP4000 MEMS Ψηφιακή Οθόνη Υψηλής Ακρίβειας Σύνθετο Όργανο Κενού Ψυχρής Καθόδου και Pirani

AGP4000 MEMS Ψηφιακή οθόνη υψηλής ακρίβειας Ψυχρή Καθοδική σύνθετη κενομετρητή

Χρήση:

• Κατασκευή ημιαγωγών: Χρησιμοποιείται για ακριβή παρακολούθηση του περιβάλλοντος κενού σε διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών, όπως η επικάλυψη ημιαγωγών.Ο ακριβής έλεγχος του βαθμού κενού είναι ζωτικής σημασίας για την ποιότητα και την απόδοση των προϊόντων ημιαγωγών, και η AGP4000 μπορεί να παρέχει αξιόπιστα δεδομένα κενού για να εξασφαλίσει τη σταθερότητα της διαδικασίας.
• Αεροδιαστημικό πεδίο: Στις δοκιμές αεροδιαστημικών εξαρτημάτων και σε άλλα σενάρια, είναι απαραίτητο να προσομοιώνεται διαφορετικό περιβάλλον κενού για να δοκιμαστεί η απόδοση των εξαρτημάτων.Το AGP4000 μπορεί να πραγματοποιήσει πλήρη παρακολούθηση από χαμηλό κενό σε υψηλό κενό, παρέχοντας σημαντική υποστήριξη δεδομένων για την αεροδιαστημική έρευνα και ανάπτυξη και δοκιμές.
• Επιστημονική έρευνα ακρίβειας: Στην επιστημονική έρευνα ακρίβειας, όπως ορισμένα φυσικά και χημικά πειράματα που απαιτούν υψηλής ακρίβειας έλεγχο του περιβάλλοντος κενού,Το AGP4000 μπορεί να βοηθήσει τους ερευνητές να αποκτήσουν με ακρίβεια πληροφορίες για το βαθμό κενού, εξασφαλίζοντας την ακρίβεια και την επαναληπτικότητα των πειραματικών αποτελεσμάτων.
• Εφαρμογές φούρνων κενού: Για τους φούρνους κενού, απαιτούνται διαφορετικοί βαθμοί κενού σε διαφορετικά στάδια της διαδικασίας.και συνεργάζονται με το σύστημα ελέγχου για τη ρύθμιση του βαθμού κενού, ώστε να εξασφαλίζεται η ποιότητα της θερμικής επεξεργασίας των υλικών και η διάρκεια ζωής του φούρνου.

Χαρακτηριστικά:

• Μετρητή ευρείας εμβέλειας και υψηλής ακρίβειας: Μπορεί να επιτύχει πλήρη εμβέλεια ακριβούς παρακολούθησης από χαμηλό κενό σε υψηλό κενό (1×10−6Pa ~ 1×105Pa), καλύπτοντας ένα ευρύ φάσμα 6 τάξεων μεγέθους,με σφάλμα επαναληψιμότητας ≤ ± 5%, και εξαιρετική μακροχρόνια σταθερότητα, παρέχοντας μια αξιόπιστη βάση δεδομένων για βασικές διαδικασίες.
• Διπλή τεχνολογία Ευφυής Συνεργασία: Το σύστημα Pirani λειτουργεί καθ' όλη τη διάρκεια της διαδικασίας, και όταν ο βαθμός κενού είναι < 10 Pa,Το σύστημα ψυχρής-καθοδικής λειτουργίας ξεκινάει αυτόματα χωρίς χειροκίνητη παρέμβαση., το οποίο λύνει εντελώς το σημείο πόνου του περιορισμού της εμβέλειας των παραδοσιακών εξοπλισμών.
• Δυνατός και Αδιάβλητος: Η κατασκευή του ψυχρού καθοδίου δεν απαιτεί θερμαντικό νήμα, το οποίο έχει ισχυρή ικανότητα κατά της ρύπανσης, παρατείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής και μειώνει το κόστος συντήρησης.
• Αληθινή χρωματική οπτικοποίηση: Είναι εξοπλισμένη με υψηλής ευκρίνειας TFT - LCD χρωματική οθόνη, η οποία μπορεί να εμφανίζει δυναμικά την τιμή πίεσης σε πραγματικό χρόνο,και μπορεί να αλλάζει μεταξύ τριών μονάδων (Pa/Torr/mbar) με ένα πλήκτρο, και επίσης εμφανίζει τη θερμοκρασία, την κατάσταση επικοινωνίας και τα σήματα υψηλής τάσης (κόκκινο/μπλε δύο χρώματα προειδοποίησης), έτσι ώστε τα δεδομένα να είναι σαφή με μια ματιά.
• Έκδοση διπλής λειτουργίας: Διαθέτει γραμμικό αναλογικό σήμα 0 ~ 10V, το οποίο μπορεί να συνδεθεί απευθείας με βιομηχανικό εξοπλισμό όπως PLC και καταγραφείς και υποστηρίζει λογαριθμικούς τύπους μετατροπής,καθιστώντας εύκολη την προσαρμογή στο σύστημαΤαυτόχρονα, έχει ένα πρότυπο πρωτόκολλο Modbus RTU, το οποίο συνειδητοποιεί την επικοινωνία RS485 μέσω της διεπαφής RJ45, υποστηρίζει δικτύωση πολλαπλών συσκευών,και είναι συμβατό με τα κύρια βιομηχανικά συστήματα ελέγχου, συμβάλλοντας στην κατασκευή ενός ευφυούς δικτύου παρακολούθησης κενού.
• Εύκολη εγκατάσταση και αξιόπιστη λειτουργία: Είναι τυποποιημένο εξοπλισμένο με ηλεκτρο-φτιαγμένη φλάντσα από ανοξείδωτο χάλυβα KF25.που έχει εξαιρετική αεροστεγνότητα και υποστηρίζει την εγκατάσταση σε οποιαδήποτε κατεύθυνση (συστήνεται κάθετη εγκατάσταση)Έχει παροχή ισχύος μεγάλης τάσης (15 ~ 30V DC) και κατανάλωση ισχύος ≤ 6W, η οποία μπορεί να προσαρμοστεί σε σκληρά βιομηχανικά περιβάλλοντα.
• Διανοητική βαθμονόμηση και βολική λειτουργία: Έχει ένα σχεδιασμό διεπαφής με βάση το μενού τριών επιπέδων, υποστηρίζει την αλλαγή κινέζικου και αγγλικού, μπορεί να ορίσει τις παραμέτρους επικοινωνίας και τις μονάδες επί τόπου,εκτέλεση 0.1Pa/ατμοσφαιρική πίεση, και ακόμη και να επαναφέρει τις εργοστασιακές ρυθμίσεις με ένα πλήκτρο, το οποίο μειώνει σημαντικά το όριο λειτουργίας και συντήρησης.